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Cu-In系中Cu11In9相的生长动力学研究

谭艳芳 , 潘勇 , 欧铜钢 , 周兆锋

材料导报

采用电沉积方法在Cu基底上制备一层In薄膜得到Cu-In扩散偶.将扩散偶在T=453K、503K和553K时分别进行t=20min、40min、60min和90 min的热处理.实验结果表明,在Cu-In扩散偶界面形成了不同厚度的金属间化合物层Cu11In9相;将Cu11In9相的厚度与热处理时间的关系接经验公式进行拟合,得到比例常数k和生长速率时间指数n;k和n值的大小表明,金属间化合物Cu11In9相层的生长速率受扩散和固态铜在液态铟中的溶解共同控制.

关键词: 金属间化合物 , Cu-In预制层 , 生长动力学 , Cu11In9相 , 扩散

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